濺射薄膜壓力傳感器的周邊固支結構膜片設計
1、基本原理
采用高彈性不銹鋼材料加工成圓杯形彈性體,彈性體的底面加工成薄片(膜片),其厚度h的設計與壓力測量的范圍有關。
2、彈性體設計
1)設計理論
周邊固支結構的膜片在受壓力作用時的應力、應變分布。
徑向應力:σr= 3P[R2 (1+μ) –r2(3+μ) ]/8h2 …………………(1)
徑向應變:εr= 3P(1-μ2) (R2 -3 r2 )/8Eh2 ………………………(2)
式中:P—均布壓力,Pa;h—膜片厚度,cm;R—膜片半徑,cm;μ—材料的泊松比;E—材料的彈性模量,Pa;r—受力位置。
切向應力:σt= 3P[R2 (1+μ) –r2(1+3μ) ]/8h2 …………………(3)
切向應變:εt= 3P(1-μ2) (R2 -r2 )/8Eh2 ………………………(4)
在膜片中心(r=0)處,切向應力與徑向應力相等,切向應變與徑向應變相等,而且具有正的最大值:
σro=σto=3PR2(1+μ)/8h2 …………………………(5)
εro=εto=3PR2(1-μ2)/8Eh2 …………………………(6)
在膜片邊緣(r=R)處,徑向應力、切向應力和徑向應變都達到負的最大值,而切向應變?yōu)榱悖?
σra= -3PR2/4h2 ……………………………………(7)
σta= -3μPR2/4h2 …………………………………(8)
εra=εto=3PR2(1-μ2)/4h2 …………………………(9)
εta=0………………………………………………(10)
在膜片中心處,具有最大繞度:ωo=ωmax=3p(1-μ2)R4/(16Eh3)………………(11)
使膜片變形的平面等效應力:σeg= σr2+σt2-σrσt …………………………(12)
2)尺寸的確定
設計采用高強度、高彈性、彈性模量穩(wěn)定、耐腐蝕性強的不銹鋼作為彈性材料。材料彈性限σe=1100×106 Pa;μ=0.272;E=195×109 Pa。彈性體尺寸設計應盡可能小,但是由彈性膜片理論可知,平膜片變形時的最大絕對非線性誤差Δωmax發(fā)生在擾度為0.58ωm處。最大相對非線性誤差為Δωmax/ωm,其值只與ωm/h比值有關,ωm/h較大時,非線性嚴重。另外由(11)式可知,要使膜片在應力作用下得到一定的變形量,減小膜片直徑的同時必須減薄膜片厚度,過薄的膜片在加工時難以保證平行度,平行度下降將導致傳感器非線性急劇增大。雖然可以設計信號處理電路對傳感器的非線性進行補償,使輸出電信號與壓力成線性關系,但不是真實應力變化的反映。因此,設計膜片有效半徑R=0.55 cm;膜片厚度h=0.029cm;彈性體最大外徑為1.9 c m。將材料參數(shù)代入(7)式,可求得作用在膜片上的1M Pa均布壓力,可在膜片邊緣處產(chǎn)生最大徑向應力:
σra= -3PR2/4h2 =-270×106 Pa ………………………………(13)
可見σra≤1/4σe,膜片可承受4倍最大測量壓力的過載,滿足過負荷指標150%的要求。不考慮膜片平行度影響時,測量最大非線性誤差為0.1%FS。由(11)式可求得膜片在1M Pa壓力下的最大擾度為0.033mm。
3、收縮應力參考表
由(13)式可見,當傳感器輸出滿量程電信號時,說明由于燃料的凝固,在膜片邊緣產(chǎn)生了-270×106 Pa的徑向應力。同樣,由(8)式可求得傳感器輸出滿量程電信號時,所反映的膜片邊緣切向應力;由(5)式可求得膜片中心的徑向和切向應力;由(12)式可求得平面等效應力。計算結果列入表1。表1 收縮應力參考表,注:滿量程輸出電壓YFS等于滿度輸出電壓與零點輸出電壓之差。
輸出(%) | 0 | 20 | 40 | 60 | 80 | 100 |
σro(MPa) | 0 | 34.4 | 68.7 | 103.1 | 137.4 | 171.8 |
σto(MPa) | 0 | 34.4 | 68.7 | 103.1 | 137.4 | 171.8 |
σra(MPa) | 0 | -54.0 | -107.9 | -161.9 | -215.8 | -269.8 |
σta(MPa) | 0 | -14.7 | 29.4 | -44.0 | -58.7 | -73.4 |
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